產品展示
9N系列純化器(0.1ppb)
應用領域:

適用于電子半導體、大規模集成電路、MAMS、單晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化鎵、碳化硅、科研開發、實驗分析等。

特點:

●  雙塔交替吸附再生,全自動連續運行

●  EP級316L拋光不銹鋼管件

●  配置0.003μm過濾器,去除率可達99.9999999%

●  西門子 PLC 可接入DCS系統

●  安全報警功能完善

●  可提供遠程云服務

●  超凈環境中生產組裝

●  氣體處理量10-20000Nm3/h

9N超純氣體純化器


系列型號

適用氣體

原料氣指標

產品氣指標


N2

H2

O2

Ar

He

O2

H2O

CO2

CO

CH4

H2

N2

顆粒度


9VV

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

9OVV

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

9VVX

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

9X

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm

注:常用流量規格:1-20000Nm3/h;常用壓力:1-20Mpa

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