產品展示
9NP/8NP終端純化器POU
應用領域:

●實驗分析 、科研開發

●集成電路制造 、MAMS

●單晶硅、多晶硅及硅外延

●LED、TFT

●氮化鎵、碳化硅等

●氣體吹掃、焊接

●氨氣純化器應用于科研院校

●小型終端氫氣純化器應用于高科技儀器公司

特點:

●常溫使用

●重復再生

●雜質脫除深度高

●內置微米過濾器,獨特結構, 防止堵塞

●可根據用戶需要定制各種型號

●使用成本低

8NP系列常規型號一覽表

適用氣體

N2、H2、O2、Ar、He、NH3、SiH4、HCL

處理量 (L/min)

5

10

20

30

50

100

150

200

300

500

800

1000

長度 (mm)

120

150

225

220

200

385

465

360

508

760

600

716

直徑

2’

2.5’

3’

4’

6’

/出氣口接頭

1/4  VCR

1/2 VCR

使用壓力

1.0Mpa

最大氣體壓差

0.1 Mpa

純化指標

單項雜質<1ppb

使用壽命

六個月(返廠再生)

? 可根據客戶要求,定制特殊型號產品。

9NP系列常規型號一覽表

適用氣體

N2、H2、O2、Ar、He、NH3、SiH4、HCL

處理量 (L/min)

5

10

20

30

50

100

150

200

300

500

800

1000

長度 (mm)

130

180

275

260

380

500

435

550

780

600

900

1100

直徑

2’

2.5’

3’

4’

6’

/出氣口接頭

1/4  VCR

1/2 VCR

使用壓力

1.0Mpa

最大氣體壓差

0.1 Mpa

純化指標

單項雜質<0.1ppb

使用壽命

六個月(返廠再生)

? 可根據客戶要求,定制特殊型號產品。

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